EANS-News: SEMATECH und centrotherm kooperieren bei der Entwicklung von
Niedertemperatur-Prozessen für die künftigen Generationen von
Halbleiterbauelementen (Logik und Speicher) in der Halbleiterindustrie
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Unternehmen
Utl.: Gemeinsame Bestrebungen zur Entwicklung neuer, für die Technologie-
Roadmap entscheidender Prozesstechnologien
Partnerschaft ist Bestandteil der centrotherm Strategie, den
Halbleiterbereich weiter auszubauen
Blaubeuren (euro adhoc) - 10. April 2012 - centrotherm thermal solutions GmbH &
Co. KG, eine 100-prozentige Tochter der centrotherm photovoltaics AG, die
Hightech-Produktionsanlagen und dazugehörige Prozesstechnologien für die
Halbleiterindustrie entwickelt, ist dem Front End Prozess (FEP) Programm von
SEMATECH beigetreten. Ziel ist es, gemeinsam Niedertemperaturprozesse mit Hilfe
der von centrotherm neu entwickelten Niedertemperatur-Plasmaoxidationsanlage für
zukünftige, leistungsfähigste Logik- und Speicherbauelemente zu entwickeln.
Kontinuierliche Miniaturisierung im Nanometerbereich bedingt neue Materialien
und neue Bauelementkonzepte, die eine Reduzierung des thermischen Budgets im
Prozessfluss erfordern. Um beispielsweise Transistoren mit hohen
Ladungsträgermobilitäten im Kanalbereich einzuführen, sind
Niedertemperaturprozesse dringend erforderlich. So werden die vorteilhaften
Eigenschaften der Kanalmaterialien erhalten. In gleicher Weise benötigen
fortgeschrittene Speichertechnologien qualitativ hochwertige, elektrische
Isolationsschichten. Diese Oxidschichten werden bei extrem tiefen Temperaturen
gewachsen - zum Beispiel für RRAM Speicherbauelemente (Resistive Random Access
Memory), die Metalloxide enthalten. Die von centrotherm neu entwickelte
Niedertemperatur-Plasmaoxidationsanlage bietet mit Ihrer Prozesstechnologie
eine sehr gute Möglichkeit, durch extrem niedrige Prozesstemperaturen neuartige
Materialien in zukünftige Bauelementtechnologien zu integrieren.
Als Mitglied dieses Programms wird centrotherm sehr eng mit den Experten des
SEMATECH FEP-Forschungsteams zusammenarbeiten, um mit Hilfe von SEMATECH
Teststrukturen für plasmabasierte Niedertemperaturprozesse zu optimieren. Das
Ziel besteht darin, die Anwendbarkeit der Niedertemperaturprozesse für Logik-
und Speicherbauelemente mit Strukturbreiten kleiner 14 nm (Nanometer) zu
demonstrieren.
"SEMATECH stellt centrotherm eine exzellente Testplattform zur Verfügung, um
aktuelle Prozesse zu charakterisieren und neue Anwendungen für unsere Anlage zu
erschließen", sagt Peter Augustin, CEO der centrotherm thermal solutions GmbH &
Co. KG. "Diese Zusammenarbeit ist eine wichtige Möglichkeit für centrotherm,
die technologische Leistungsfähigkeit unserer neuesten Niedertemperatur-
Plasmaoxidationsanlage unseren Kunden zu demonstrieren und ist Teil unseres ct
focus Programms, den Halbleiter- und Mikroelektronik-Bereich weiter
auszubauen."
"SEMATECH ist erfreut, centrotherm als Partner zu begrüßen", erklärte Raj
Jammy, Vice President Emerging Technologies bei SEMATECH. "centrotherm´s
einzigartiges Know-how in thermischen Lösungen ergänzt unsere Bauelement- und
Prozessexpertise. Wir arbeiten zusammen, um anwendbare und vielversprechende
neue Fertigungslösungen zu entwickeln, um die Anforderungen des Marktes für
zukünftige Transistoren und Speicher zu erfüllen."
Das Ziel des FEP-Programms von SEMATECH ist es, neuartigste Materialien,
Prozesstechnologien, Bauelementmodule sowie elektrische und physikalische
Charakterisierungsmethoden zur Verfügung zu stellen, um die kontinuierliche
Miniaturisierung von Logik- und Speicheranwendungen zu ermöglichen.
Über centrotherm
centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG, eine 100-Prozent-Tochter der
centrotherm photovoltaics AG, entwickelt und produziert High-Tech-
Produktionsanlagen zur Herstellung eines großen Spektrums von Halbleiter-
Bauelementen. Zu unseren Kernkompetenzen gehören neben Prozess und Technik auch
die Konstruktion und das Design unserer Produkte. Sie werden für eine Vielzahl
von thermisch aktivierten Prozessen in verschiedenen Technologien und
Anwendungen (z.B. Leistungshalbleiter, LED, Mikromechanik, MEMS, Sensortechnik)
eingesetzt. Die centrotherm photovoltaics AG mit Sitz in Blaubeuren ist der
weltweit führende Technologie- und Equipmentanbieter der Photovoltaikbranche.
Das Unternehmen stattet namhafte Solarunternehmen und Branchen-Neueinsteiger
mit schlüsselfertigen ("Turnkey") Produktionslinien und Einzelanlagen für die
Herstellung von Silizium, kristallinen Solarzellen und -modulen sowie
Dünnschichtmodulen aus. Damit verfügt der Konzern über eine breite und
fundierte Technologiebasis sowie Schlüsselequipment auf nahezu allen Stufen der
photovoltaischen Wertschöpfungskette. Seinen Kunden garantiert centrotherm
photovoltaics wichtige Leistungsparameter wie Produktionskapazität,
Wirkungsgrad und Fertigstellungstermin. Der Konzern beschäftigte zum Stichtag
31. Dezember 2011 rund 1.900 Mitarbeiter und ist weltweit in Europa, Asien und
den USA aktiv. Im Geschäftsjahr 2011 erzielte centrotherm photovoltaics einen
Umsatz von rund 700 Mio. Euro. Das Unternehmen ist im TecDAX an der Frankfurter
Wertpapierbörse gelistet. Mehr über centrotherm unter www.centrotherm.de.
Über SEMATECH®
SEMATECH®, ein internationales Konsortium von führenden
Halbleiterbauelement,-produktionsanlagen und -materialherstellern, feiert dieses
Jahr 25 Jahre herausragende Leistung in der Beschleunigung der
Kommerzialisierung technologischer Innovationen in Produktionslösungen. Aufgrund
des unerschütterlichen Engagements, die Zusammenarbeit in der
Nanoelektronik-Industrie zu stärken, hilft SEMATECH seinen Partnern, den
industriellen Wandel zu begleiten, technischen Konsens voranzutreiben,
Forschungsergebnisse in der Industrie umzusetzen, Produktivität in der Fertigung
zu erhöhen sowie Kosten- und Zeitrisiken zu minimieren. Weitere Informationen
über SEMATECH sind unter www.sematech.org zu finden.
Kontakt:
SEMATECH
Erica McGill
001-518-649-1041
E-Mail: erica.mcgill@sematech.org
centrotherm
Saskia Feil
Senior Manager Investor & Public Relations
Tel: +49 7344 918-8890
E-Mail: saskia.feil@centrotherm.de
Dr. Torsten Knödler
Manager Public Relations
Tel: +49 7344 918-8898
E-Mail: torsten.knoedler@centrotherm.de
Rückfragehinweis:
Dr. Torsten Knödler
Manager Public Relations
Tel.: 07344 - 918-8898
E-Mail: torsten.knoedler@centrotherm.de
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Unternehmen: centrotherm photovoltaics AG
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D-89143 Blaubeuren
Telefon: +49 (0) 7344 91880
Email: info@centrotherm.de
WWW: http://www.centrotherm.de
Branche: Energie
ISIN: DE000A0JMMN2
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Börsen: Freiverkehr: Berlin, München, Hamburg, Düsseldorf, Stuttgart,
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