Markteinführung der nächsten Generation der Massendurchflussregler der GF100-Reihe von Celerity für die Halbleiterchip- und Solarzellenherstellung
San Jose, Kalifornien (ots/PRNewswire)
- Die MFCs der GF100-Reihe bieten eine nahtlose, RoHS-konforme Aufrüstmöglichkeit mit verbesserter Qualität, höherer Zuverlässigkeit und niedrigeren Gesamtbetriebskosten
Celerity, Inc., bei Präzisionsinstrumenten und hochentwickelten Gas- und Flüssigkeits-Regellösungen für die globale Halbleiter-, Solarzellen- und Elektronikbranche technologisch führend, gab heute die Markteinführung der Massendurchflussregler (MFC) der GF100-Reihe bekannt, die speziell auf die präzise Messung, Überwachung und Regelung hochreiner Prozessgas-Chemie bei Halbleiterchip- und Solarzellenherstellungsverfahren ausgerichtet sind. Die MFCs der neuen GF100-Reihe von Celerity bieten eine in hohem Masse konfigurierbare Plattform und sind mit Celeritys hauseigener, gegen Druckschwankungen unempfindlichen Durchflusstechnologie der zweiten Generation ausgestattet, die die Prozesssteuerung verbessert, die Gesamtbetriebskosten verringert und eine komplexe Lagerhaltung erübrigt.
Die Massendurchflussregler der neuen GF100-Produktreihe von Celerity bieten eine ganze Reihe entscheidender Vorteile, u. a. hohe Genauigkeit, reproduzierbare Gasmessungen, Steuerung über eine moderne, digitale Architektur, elektronische Vor-Ort-Umkonfigurierung des Gas- und Durchflussbereichs für maximale Prozessflexibilität und -optimierung, druckschwankungsunempfindliche Konzeption des Durchflussverfahrens (ermöglicht beträchtliche Kosten- und Grösseneinsparungen bei den Hochreingas-Versorgungssystemen) und integrierte, intelligente Diagnose, Wartungsanschluss und Software für die einfache und effiziente Wartung ohne Abrüsten des Werkzeugs.
"Celerity ist Marktführer bei hochentwickelten, digitalen ultrahochreinen Massendurchflussreglern und in der Branche ein Vorreiter bei druckschwankungsunempfindlichen MFCs. Dank unserer umfassenden Erfahrung in der Gas-Durchflussregelung, stellt die GF100-Reihe ein kontinuierliche Prozessverbesserung (CPI) unserer marktführender Präzisions-Massendurchflussregler dar und bietet dem Kunden eine nahtlose, RoHS-konforme Aktualisierung mit verbesserter Prozesssteuerung und niedrigeren Gesamtbetriebskosten", sagte David Somo, Senior Vice President Vertrieb und Marketing bei Celerity.
Informationen zu Celerity
Celerity ist beim Entwurf, bei der Entwicklung und Fertigung von Präzisionsinstrumenten und hochentwickelten Gas- und Flüssigkeits-Regellösungen, wie sie als integraler Bestandteil von Anlagen zur Fertigung von Halbleitern, Flachbildschirmen, Solarzellen und ähnlichen Produkten zum Einsatz kommen, technologisch führend. Celerity ist in San Jose, Kalifornien, ansässig, beschäftigt weltweit ca. 800 Mitarbeiter und befindet sich in Privatbesitz, wobei Texas Pacific Group eine Mehrheitsbeteiligung hält. Weitergehende Informationen stehen unter http://www.celerity.net zur Verfügung.
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